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產品中心INFICON英福康Transpector XPR 3+INFICON英福康殘余氣體分析儀
產品簡介
INFICON英福康殘余氣體分析儀（Transpector XPR 3+）提供業內優秀的測量速度，以監測并控制現代半導體和顯示屏生產所需的快速過程變化。
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產品分類| 品牌 | INFICON/美國 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 電子/電池,電氣 |
INFICON英福康殘余氣體分析儀（Transpector XPR 3+）
監測并控制快速過程變化
新的Transpector XPR 3+殘余氣體分析儀(RGA)提供業內優秀的測量速度，以監測并控制現代半導體和顯示屏生產所需的快速過程變化。Transpector XPR 3+非常適合于現場空氣漏點、氣體純度、碳氫化合物和污染監測。相比定期上升率測試，Transpector XPR 3+ 進行的實時測量可提供很好的產品保護。
通過充分利用工具使用時間促進盈利能力
Transpector XPR 3+ RGA 是用于濺射壓力范圍應用的經實踐驗證的四極和雙離子源傳感器。無需壓力轉換設備，部件使用壽命長，能快速檢測并診斷問題，從而充分利用工具可用性、產品吞吐量和產量。傳感器可在高真空到 20 mTorr 范圍連續工作，無需泵。Transpector XPR 3+ 雙離子源腔室設計用于限制涂層，以保持離子源靈敏度，并延長傳感器平均維護時間。
優勢
l 從高真空到 PVD 流程壓強條件下，能夠高靈敏度地檢測空氣泄漏和污染，實時保護晶圓和面板
l 充分利用 PM 效率和工具正常使用時間，具有快速可靠的腔室條件
l 通過延長使用壽命、防污染、雙離子源設計最小化總體擁有成本；無需泵，即可監測高達 20 mTorr 的壓強。低壓 EM 變體可提供成本敏感的替代選擇
l 通過強大數據采集與同步實現無縫工廠集成和可靠阻斷
l 通過定制配方優化增強獨特生產能力
l 通過即時現場專家響應保護關鍵過程需求
典型應用
l PVD 和濺射過程模塊
l 預清洗模塊
l 非群集 PVD 工具
l 夾鉗式除氣模塊
INFICON英福康殘余氣體分析儀（Transpector XPR 3+）
技術規格
質量位置穩定性 | <0.1 amu over 24 hours |
靈敏度（FC 模式） | ≥4E-7 amps/Torr (3E-7 amps/mbar) |
靈敏度（標稱） | ≥8E-3 amps/Torr (3E-3 amps/mbar) |
最小可檢測分壓（FC 模式） | ≤1E-9 Torr (1.3E-9 mbar) |
最小可檢測分壓（EM 模式） | ≤6E-12 Torr (8E-12 mbar) |
最大工作壓力（FC 或 EM 模式） | 20 mTorr (2.6E-2 mbar) |
最大工作壓力（線性操作） | 10 mTorr (1.3E-2 mbar) |
杭州域勢科技有限公司專注于為工業及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測及控制相關的技術服務及解決方案，公司代理經銷美國ALICAT、瑞士Vogtlin、美國MKS、日本EBARA等品牌，結合代理的產品為客戶提供優質的流量及壓力監控解決方案，旨在提高客戶的研發及生產效率、改進客戶制造工藝、推動客戶科研及創新進度。
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