INFICON英福康殘余氣體分析儀（Transpector CPX）

增強(qiáng)性能、可靠性驗(yàn)證與應(yīng)用多樣性

INFICON Transpector CPX 是一款市場(chǎng)優(yōu)秀的殘余氣體分析儀（RGA），用于半導(dǎo)體制造中的過程監(jiān)控。INFICON 深知半導(dǎo)體制造過程有特定需求，需要靈活性以滿足應(yīng)用要求。Transpector CPX 設(shè)計(jì)時(shí)充分考慮了這一多樣性，配備了多壓力 HexBlock 入口和多種功能選項(xiàng)，以滿足應(yīng)用需求。

新一代Transpector CPX相較于前代產(chǎn)品*體積減少了30%，同時(shí)保持行業(yè)優(yōu)秀的抽氣系統(tǒng)。此外，Transpector CPX 還是一款更智能的系統(tǒng)，具有更強(qiáng)的控制能力。

*與 Transpector CPM 3 相比

優(yōu)勢(shì)

l 可配置的 HexBlock，最多支持三個(gè)壓力入口，適用于多種應(yīng)用

l 與 Transpector CPM 3 相比，系統(tǒng)體積減少 30%，便于在空間受限的應(yīng)用中進(jìn)行 RGA 集成

l 通過行業(yè)優(yōu)秀的抽氣系統(tǒng)和溫控加熱組件簡(jiǎn)化系統(tǒng)復(fù)雜度

l 自動(dòng)校準(zhǔn)確保長(zhǎng)期數(shù)據(jù)可靠性和準(zhǔn)確性，實(shí)現(xiàn)傳感器到傳感器、工具到工具的腔室匹配

l 當(dāng)與 FabGuard 軟件集成并由 INFICON 應(yīng)用專家支持時(shí)，Transpector CPX 成為強(qiáng)大的過程監(jiān)控和診斷工具

INFICON英福康殘余氣體分析儀（Transpector CPX）

技術(shù)規(guī)格

杭州域勢(shì)科技有限公司專注于為工業(yè)及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測(cè)及控制相關(guān)的技術(shù)服務(wù)及解決方案，公司代理經(jīng)銷美國(guó)ALICAT、瑞士Vogtlin、美國(guó)MKS、日本EBARA等品牌，結(jié)合代理的產(chǎn)品為客戶提供優(yōu)質(zhì)的流量及壓力監(jiān)控解決方案，旨在提高客戶的研發(fā)及生產(chǎn)效率、改進(jìn)客戶制造工藝、推動(dòng)客戶科研及創(chuàng)新進(jìn)度。