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產品中心INFICON英福康HCDINFICON英福康烴類檢測器
產品簡介
INFICON英福康烴類檢測器（HCD）是專注于工業真空/半真空在線連續監測的固定式設備，和便攜檢漏儀的定位與應用場景差異明顯。
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產品分類| 品牌 | INFICON/美國 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 環保,化工,石油,電子/電池 |
INFICON英福康烴類檢測器（HCD）
核心原理與特點
l 檢測原理：采用 ** 紫外光電離（UV PID，10/10.6 eV 輝光放電）** 技術，寬帶非選擇性檢測，可同時響應絕大多數烴類、硅氧烷（硅油），無需復雜預濃縮；無泵設計，維護量極低，適配惡劣工藝環境。
l 實時監控：數據響應迅速，支持 4-20 mA、0-10 V 模擬信號與 Modbus TCP 數字通訊，可無縫接入 INFICON FabGuard® 制程監控軟件，實現趨勢分析、報警聯鎖。
l 安裝與體積：標準 KF25（FK25）法蘭安裝，快速部署，占用空間小；工作壓力覆蓋 1 Torr～1 atm，工作溫度 -25℃～180℃，高靈敏度（高發射模式達2E-5 A/Torr），檢出限可達ppb級（隨工作壓力變化）。
典型應用場景
l 半導體/顯示：光刻膠蒸氣、真空泵油反擴散、腔室污染預警；
l 光伏：CVD 制程尾氣、腔體泄漏檢測；
l 制藥：冷凍干燥（凍干）設備的油蒸氣污染控制；
l 真空鍍膜：工藝氣氛中殘留有機物監測。
優勢
l 實時監控
l 定制化傳感器操作控制與數據分析
l 通過數據采集實現無縫工具集成與可靠攔截
l 快速簡便的傳感器安裝，最小化工具占用空間
l 低總擁有成本，高投資回報率
INFICON英福康烴類檢測器（HCD）
技術參數
參數 | 數值 |
工作壓力 | 1 Torr～1 atm |
工作溫度 | -25°C 至 180°C |
靈敏度（高發射） | >2E-5 A/Torr |
接口法蘭 | 標準 KF25（可定制） |
通訊 / 輸出 | 4–20 mA、0–10 V、Modbus TCP |
檢測對象 | 烴類（VOCs）、硅油 / 硅氧烷 |
杭州域勢科技有限公司專注于為工業及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測及控制相關的技術服務及解決方案，公司代理經銷美國ALICAT、瑞士Vogtlin、美國MKS、日本EBARA等品牌，結合代理的產品為客戶提供優質的流量及壓力監控解決方案，旨在提高客戶的研發及生產效率、改進客戶制造工藝、推動客戶科研及創新進度。
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