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產(chǎn)品中心INFICON英福康Transpector® APX ALDINFICON英福康單壓力殘余氣體分析儀
產(chǎn)品簡介
INFICON英福康單壓力殘余氣體分析儀（Transpector® APX ALD）是用于半導(dǎo)體和顯示器制造過程監(jiān)控市場優(yōu)秀的殘余氣體分析儀 (RGA)。
product
產(chǎn)品分類| 品牌 | INFICON/美國 | 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件 |
INFICON英福康單壓力殘余氣體分析儀（Transpector® APX ALD）
實(shí)時減少廢品，提高產(chǎn)量
INFICON Transpector APX是用于半導(dǎo)體和顯示器制造過程監(jiān)控市場優(yōu)秀的殘余氣體分析儀 (RGA)。INFICON 深知半導(dǎo)體和顯示器客戶有著獨(dú)特的需求，Transpector APX 的新的修訂版在保持行業(yè)優(yōu)秀的測量速度和靈敏度的同時，提供了更大的靈活性以滿足特定的應(yīng)用要求。Transpector APX是用于 ALD、CVD、PVD 和蝕刻等半導(dǎo)體工藝的理想 RGA 過程監(jiān)控器。
下一代 Transpector APX ALD 單壓入口系統(tǒng)設(shè)計用于在 ALD 或 PECVD 等容易產(chǎn)生顆粒或涂層的制程化學(xué)中生存。這允許在所有關(guān)鍵工藝步驟中進(jìn)行連續(xù)監(jiān)測，以捕獲數(shù)據(jù)點(diǎn)。此外，入口溫度可控，可抵御腐蝕性氣體，這對于腔室清潔終點(diǎn)監(jiān)測應(yīng)用至關(guān)重要。
優(yōu)勢
l 針對特定應(yīng)用的平臺設(shè)計，為您的ALD或CVD工藝提供最長的使用壽命，實(shí)現(xiàn)很好的晶圓和面板保護(hù)以及工藝優(yōu)化
l ALD準(zhǔn)備就緒，測量速度超過每秒550個數(shù)據(jù)點(diǎn)
l 由于采用高性能泵系統(tǒng)，工廠占地面積減少 30%，安裝更加簡便
l 溫控入口采用 INFICON 涂層，用于離散壓力入口，可承受苛刻的腐蝕性化學(xué)物質(zhì)
l 自動校準(zhǔn)確保傳感器與傳感器、工具與工具腔室匹配的長期數(shù)據(jù)可靠性和準(zhǔn)確性
l Transpector APX 與 FabGuard® 軟件集成后成為強(qiáng)大的過程監(jiān)控和診斷工具，并由 INFICON 應(yīng)用專家提供支持
INFICON英福康單壓力殘余氣體分析儀（Transpector® APX ALD）
技術(shù)參數(shù)
型號 | 100AMU | 200AMU | 300AMU |
總壓力范圍 | 5E-7 – 1E-3 Torr 6.6E-7 – 1.3E-3 mbar | 5E-7 – 1E-3 Torr 6.6E-7 – 1.3E-3 mbar | 5E-7 – 1E-3 Torr 6.6E-7 – 1.3E-3 mbar |
檢測限 | <10 ppb | <25 ppb | <50 ppb |
工藝壓力范圍 | 1E-8 Torr – 1.2 atm 1.3E-8 mbar – 1.2 atm | 1E-8 Torr – 1.2 atm 1.3E-8 mbar – 1.2 atm | 1E-8 Torr – 1.2 atm 1.3E-8 mbar – 1.2 atm |
靈敏度（低排放） | >4.0E-6 amps/Torr >3E-6 amps/mbar | >2.0E-6 amps/Torr >1.5E-6 amps/mbar | >1.0E-6 amps/Torr >7.6E-7 amps/mbar |
靈敏度（高排放） | >2.0E-5 amps/Torr >1.5E-5 amps/mbar | >1.0E-5 amps/Torr >7.6E-6 amps/mbar | >5.0E-6 amps/Torr >3.8E-6 amps/mbar |
杭州域勢科技有限公司專注于為工業(yè)及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測及控制相關(guān)的技術(shù)服務(wù)及解決方案，公司代理經(jīng)銷美國ALICAT、瑞士Vogtlin、美國MKS、日本EBARA等品牌，結(jié)合代理的產(chǎn)品為客戶提供優(yōu)質(zhì)的流量及壓力監(jiān)控解決方案，旨在提高客戶的研發(fā)及生產(chǎn)效率、改進(jìn)客戶制造工藝、推動客戶科研及創(chuàng)新進(jìn)度。
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