INFICON英福康Transpector四極桿質(zhì)譜儀（MPH）

持續(xù)上升的硅晶圓價(jià)格以及對(duì)成品的需求意味著廢棄晶圓需要付出很高的代價(jià)。因此，在半導(dǎo)體制造中心了解過(guò)程并監(jiān)測(cè)缺陷也變得更加重要。Transpector MPH 氣體分析系統(tǒng)專(zhuān)門(mén)用于讓您的系統(tǒng)在所有氣體分析應(yīng)用中都實(shí)現(xiàn)業(yè)內(nèi)優(yōu)秀的性能，有助于最大限度地提高芯片產(chǎn)量，降低工具停工時(shí)間。Transpector MPH 兼具總擁有成本低和平均故障間隔時(shí)間長(zhǎng)的優(yōu)點(diǎn)，在幫助您贏利方面的作用優(yōu)于市面上的任何其他殘余氣體分析儀 (RGA)。

INFICON 利用在氣體分析過(guò)程控制設(shè)備領(lǐng)域的專(zhuān)長(zhǎng)制造的 RGA 具有行業(yè)優(yōu)秀的數(shù)據(jù)采集速度，可檢分壓強(qiáng)和信噪比很低。所有這些特性都不會(huì)犧牲 INFICON Transpector 氣體分析儀一貫出色的可靠性。

功能

l 最大模擬掃描和選定峰值的數(shù)據(jù)速率為每點(diǎn) 1.8 ms

l TCP/IP 以太網(wǎng)連接

l 雙絲極

l 可現(xiàn)場(chǎng)更換電子倍增器

l 組合陽(yáng)極、陰極和反射極絲極套件

l 較短的傳感器可降低安裝占地面積

l 九個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)量程

l <2E-15 Torr 的 MDPP（100 amu）

l 信噪比更高

l 可調(diào)換傳感器和電子元件

l 傳感器在潔凈室環(huán)境中裝配、測(cè)試并進(jìn)行雙層包裝

l 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

INFICON英福康Transpector四極桿質(zhì)譜儀（MPH）

技術(shù)規(guī)格

杭州域勢(shì)科技有限公司專(zhuān)注于為工業(yè)及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測(cè)及控制相關(guān)的技術(shù)服務(wù)及解決方案，公司代理經(jīng)銷(xiāo)美國(guó)ALICAT、瑞士Vogtlin、美國(guó)MKS、日本EBARA等品牌，結(jié)合代理的產(chǎn)品為客戶提供優(yōu)質(zhì)的流量及壓力監(jiān)控解決方案，旨在提高客戶的研發(fā)及生產(chǎn)效率、改進(jìn)客戶制造工藝、推動(dòng)客戶科研及創(chuàng)新進(jìn)度。