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產品簡介
MKS高性能質量流量計（P4B）結合了數字流量計電子技術和一個經過充分驗證的、熱傳感器和機械設計。
| 品牌 | MKS/美國 | 價格區間 | 1萬-3萬 |
|---|---|---|---|
| 產品種類 | 質量式 | 介質分類 | 氣體 |
| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 生物產業,能源,制藥/生物制藥,汽車及零部件 |
MKS高性能質量流量計（P4B）
P4B 是一個 1.125 英寸的機殼，多氣體/多量程，金屬密封的流量計 (MFM)。P4B 儀表結合了數字流量計電子技術和一個經過充分驗證的、熱傳感器和機械設計。數字電子設備采用MKS算法，提供多氣體/多量程測量能力。包括數字校準，校準氣體的準確度為讀數的 1%。
l嚴格控制流程氣體的流量精度以改進腔室工藝匹配
l嵌入式配置和診斷軟件，允許用戶在不從工具中移除設備的情況下檢查MFM功能。
MKS高性能質量流量計（P4B）
技術參數
類型 | 質量流量計 | 全量程流量范圍 | 5-50000 sccm |
測量范圍 | 0.1-100% 的滿量程（機構上的范圍） | 最da入口壓力 | 500 psig |
證明壓力 | 1000 psig | 爆破壓力 | 1500 psig |
典型精度 | 設定點的±1% 適用于 20-100% 滿量程 | 重復性 | ±0.3% 的讀數 |
分辨率 | 滿量程的0.1% | 零溫度系數 | <滿量程的0.05%./°C |
張力溫度系數 | <0.08% 每度 Celsius 讀數 | 入口壓力系數 | <0.02% 的讀數/psi |
預熱時間 | <30 分鐘（達到穩態性能的 0.2% 以內） | 工作溫度 | 10-50°C |
儲存濕度 | 0-95%相對濕度，不冷凝 | 儲存溫度 | -20° 至 80°C (-4° 至 149° F) |
溫度顯示 | 0-100°C | 溫度精度 | ±2°C |
溫度分辨率 | 0.1°C | 顯示 | 4位數字表示數值，4位字符表示單位 |
配合類型 | 兼容：Swagelok® 4 VCR®，1.125 英寸表面安裝（C密封，W密封），1.5 英寸 W密封 | 外部泄露完整性 | <1 x 10-10 |
潮濕材料 | 316L不銹鋼（等同于半導體質量的316不銹鋼SCQ），316不銹鋼 | 表面粗糙度 | 10微英寸平均粗糙度 |
重量 | <2.5 磅（1.1千克） | 合規 | CE |
電源要求 | +15 到 +24 VDC @ 最da 200mA | 模擬I/O連接器 | 15針D型公頭，9針D型公頭 |
流量輸入輸出信號 | 0到5伏直流電 | 設備網連接器 | 5針微型連接器（DeviceNet） |
RS485連接器 | 9針D型公頭 |
功能
通訊選項
數字輸入輸出 | DeviceNet™ |
所需輸入功率 | +11到+25 VDC符合DeviceNet規范 (@ <2.0 瓦) |
數據速率開關/選擇 | 4 個位置：125, 250, 500K（默認），PGM（可通過網絡編程） |
數據速率/網絡長度 | 數據速率（用戶可選） |
MAC ID 交換機/地址 | 2個開關，10個位置；0,0到6,3是硬件ID號碼 |
網絡規模 | zui多64個節點 |
網絡拓撲結構 | 線性（主干線/分支線）電力和信號在同一條網絡電纜上 |
視覺指示器 | LED網絡狀態（綠色/紅色） |
合規性 | 歐洲共同市場 |
多氣體/多量程能力
多氣體/多量程功能，以及對準確度的嚴格性能規范，使用戶能夠盡量減少高流量MFM部件編號的庫存。多氣體/多量程功能（及其他自定義控制）是通過MFM嵌入式診斷接口訪問的，該接口無需特殊軟件或硬件即可操作。只需一根標準以太網電纜和一個支持JAVA的HTML瀏覽器（廣泛可用）即可。典型高流量氣體的氣體關鍵參數已經存儲在設備上。配置設備只是從下拉菜單中選擇氣體并指定所需的滿量程流量范圍。診斷接口還允許用戶進行常規設備健康檢查、繪制流量圖并存儲操作數據以供離線分析。
杭州域勢科技有限公司專注于為工業及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測及控制相關的技術服務及解決方案，公司代理經銷美國ALICAT、瑞士Vogtlin、美國MKS、日本EBARA等品牌，結合代理的產品為客戶提供優質的流量及壓力監控解決方案，旨在提高客戶的研發及生產效率、改進客戶制造工藝、推動客戶科研及創新進度。
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