一、壓力變化法（真空衰減 / 壓降法）

1. 把被檢件 / 測(cè)試腔抽真空，關(guān)泵保壓

2. 有漏則外界氣體滲入，壓力上升

3. 傳感器測(cè)壓力變化率，換算漏率

• 特點(diǎn)：低成本、通用；精度中等，適合粗檢 / 量產(chǎn)

二、氦質(zhì)譜檢漏法（高精度主流）

1. 被檢件抽真空，噴 / 充氦氣（示蹤氣）

2. 氦經(jīng)漏孔進(jìn)入檢漏儀真空系統(tǒng)

3. 離子源將氦電離為He?

4. 磁場(chǎng) / 四極場(chǎng)質(zhì)荷比篩選，只讓氦離子通過

5. 收集極測(cè)離子流，輸出漏率（可達(dá)10?12 Pa·m3/s）

• 模式：吸槍檢漏（定位）、真空檢漏（定量）、背壓檢漏（復(fù)雜件）

• 特點(diǎn)：靈敏度高、定量準(zhǔn)；航天 / 半導(dǎo)體 / 真空設(shè)備優(yōu)選

三、其他輔助原理

• 鹵素檢漏：鹵素氣體遇熱陰極電離，信號(hào)突變定位

• 超聲波檢漏：泄漏產(chǎn)生超聲，探頭捕捉定位

• 高頻火花：低壓真空下漏點(diǎn)放電打火，目視定位

核心邏輯

• 基礎(chǔ)：真空壓差驅(qū)動(dòng)氣體遷移

• 判據(jù)：壓力上升或示蹤氣體信號(hào)

• 選型：粗檢用壓力法；微漏 / 精密用氦質(zhì)譜